基于变温谐振集成微悬臂梁的分析仪器技术

       获奖成果：基于变温谐振集成微悬臂梁的分析仪器技术

       申报单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所、厦门海恩迈科技有限公司

       创新点：该成果基于可片上加热的MEMS集成微悬臂梁芯片，发明了世界首创的超灵敏芯片式多功能热分析仪器。该成果兼具热重分析、吸脱附分析、程序升温分析等多种功能材料表征功能，可以在工况环境下与拉曼光谱、红外光谱、透射电镜等多种分析仪器进行联合表征，性能国际领先，已在化工、能源、催化等领域获广泛应用。