Navigator-100高通量(场发射)扫描电子显微镜

       获奖成果：Navigator-100高通量(场发射)扫描电子显微镜

       申报单位：聚束科技(北京)有限公司

       创新点：该成果通过对成像技术、运动平台、电路控制及智能算法的系统化创新设计，实现了高通量成像，成像速度可达到传统扫描电镜的十倍以上。在扫描电镜行业率先采用浸没摇摆电磁复合透镜设计，在1KV加速电压下，可达到1.5nm；3KV加速电压下，可达到1.2nm 的高分辨率水平，同时还能够保持很低的图像畸变，线性度高；已取得较好的经济效益和社会效益。